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[ 量測顯微鏡 | 工具顯微鏡-TW | VM 3020U ]

金相工具顯微鏡/高倍率工具顯微鏡

高倍率工具顯微鏡

結合國內外精密之零組件所推出的,小行程之影像量測系統中,以搭載卓越的NIKON 、OLYMPUS 光學系統,搭配不同量測行程 300x 200mm 及 300x 300mm 的精密載物台,其總精度可達 2+L/250 (um) ,以因應市場的需求,產品亦可因客戶不同的量測需求,提供不同的上、下光源模組,甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。

機台特性

• 光學尺顯示器精度解析可達1um,以提供使用者高精度保證。
• 採用高精度花崗石【精密級(00級)】底座,以提供機台穩定性之操作,提昇工具顯微鏡之品質。
• 採兩段式 (粗微調)對焦系統,方便人員操作,以解決令人困擾的對焦問題。
• 採用最新LED環型燈源組,壽命可長達二萬五千個小時,以解決燈泡耗材之問題。此外同軸高亮度、
  低溫度可避免待測工件受燈泡熱度造成熱膨脹之影響。
• 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測,並可透過量測系統來照相及量測數據電腦化,可將量
  測數值做成WORD、EXCEL報表。
• 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、LCD、PCB、LED、連接器、導電架、電子零組件、精密
  加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、汽機車零件業、端子, …… . 等。

SPEC.

產品規格
VM3020U
VM3030U
XY軸驅動
手動
手動
量測行程(mm)
X300 Y200 Z150
X250 Y150 Z150
工作檯面(mm)
500x400
450x300
底座尺寸(mm)
L:700 W:930 H:900
L:700 W:930 H:900
Z軸工作距離(mm)
150
150
工作限重(kg)
20
20
機台重量(kg)
190
200
包裝重量(kg)
290
300
光學系統
NIKON LV-IM系列 或 OLYMPUS BX-FM系列
觀察型態
明視野 BF
暗視野 DF
偏光 POL
微分干涉差 DIC
物鏡倍率
選配: 2..5x、5x、10x、20x、50x、100x;標準或長工作距離
攝影機
類比 VGA/XGA或數位200/500萬畫素或3 CCD
光學尺系統
Heidenhain/Mitutoyo
解析度
0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度
±1(μm)
線性精度
U1=2μm+L/250,L=量測行程
光源
表面光源 (上): NIKON鹵素或LED光源
輪廓光源 (下):LED平行光(自然綠光)光源
軟體操作系統
2.5D量測軟體
備註
1.光源可選購a.雙束導光蛇管 b.LED光源
2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備