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[ AOI自動光學檢測系統 | 雙面對位自動測定機/上下對位自動測定機 ]

■ 雙面對位自動測定機/上下對位自動測定機

雙面對位自動測定機

■ 產品特色

  • 專為雙面對位量測所開發的非接觸式自動量測儀器,採用上、下雙鏡頭設計,搭配專用自動量測軟體。
  • 要可由顯示器同時觀看正面、背面及雙面結合影像。
  • 搭配精密的自動量測平台,可即時的手動/自動量測待測物 (樣品) 的正、反面的X、Y軸、角度差數據並依據上下
    限設定判定OK/NG。
  • 顯示雙面結合影像時可測量正、反面的對位差,精度0.0004mm。
  • 總和倍率可由 8倍至4000倍 (上、下鏡頭倍率須相同)

獨特的光學系統,可量測被測物(晶圓)的正反兩面的對位差,總合倍率由8倍~4000 倍,可依被測物的需求做不同的選擇。

■ 應用範圍

  • 各種雙面製程的對位測量
  • 晶圓 (Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對位測量
  • 導線架的正 / 反兩面的對位測量
  • 微機電 (MEMS) 的正、反面的對位測量

 

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