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[ 3D共軛焦雷射顯微鏡 | 雷射顯微鏡 ]

■ 雷射顯微鏡、雷射反射式量測系統、雷射變位計、非接觸式表面粗度計

雷射顯微鏡
規格
特徵
XY =35mm , Z = 50mm區域的非接觸形狀測定功能
規格
X 軸 35mm 、微動 0.1μm / Pulse
Y 軸 35mm 、微動 0.1μm / Pulse
Z 軸 50mm 、微動 0.05μm / Pulse
雷射掃瞄顯微鏡 ( AFT250)
最小鑑別力 0.1μm行程 50m m (Z軸驅動類型)
使用雷射 670nm紅色半導體雷射
雷射能力 235μW透鏡輸出 (實測值)
Z軸排入線的規模隱藏的高社LIF171
取像系統成像透鏡焦點距離 80mm
1/ 3” 英寸黑白照片 CCD照相機
透鏡:標準 20倍(Nikon CF Plan ELWD20X WD = 11mm )
裝置構成
滑台驅動器 B O X
防振橡皮腳墊
AC-100V 插頭 ( 700VAmax)
電腦 ( WindowsXP Pro)
15” T F T液晶顯示器
AFT35-3DL 控制軟體
大小大約 190W*大約280D*約355H (mm)
重量約12Kg
機台精度
在使用溫度環境 20℃ ± 1℃ 定義
X-Y軸精度︰ 3μm (直線)
X-Y真直度︰ 20μm (在最大限度劃水 35m m 41秒角)
X-Y 平面度︰ 3μm (由光學降半音數據的平面補正之後)
Z 軸直角度︰ 20μm (在最大限度 35m m 41秒角)
變位計算器再現性︰ 1σ =0.5μm (20次定點再測定)
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