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[ 分析量測軟體 | WMIS晶圓對位與瑕疵檢測系統 ]

■ WMIS晶圓對位與瑕疵檢測系統 (WMIS,Wafer Mapping & Inspection System)

WMIS晶圓對位與瑕疵檢測系統

WMIS晶圓定位及瑕疵檢測系統專為晶圓目視檢測而設計,整合Wafer Mapping定位軟體、顯微鏡、Wafer Loader與Prior
Shuttle自動載物台,適用於4/6/8吋晶圓即時瑕疵檢測。

WMIS可讀取客戶的Wafer Map,完成與實際Wafer的定位對應,並提供預覽影像,操作者可在螢幕上即時檢測Wafer上的
每一個Die,並可針對Die的每種狀況進行定義,於Wafer Map上以顏色呈現。即時觀測影像可拍照存檔,存檔名稱可自行
定義,如Die的位置與瑕疵定義等。

■ 功能特點

Wafer Mapping & Inspection Function

  • 讀取Wafer Map文字檔相關資訊,即時產生對應
    Wafer Map。

  • 手動三點定位,定位簡易快速,誤差小,可修正
    Wafer實際角度與位置偏差。

  • 可自定義多點檢測位置,如已公式計算多點檢測
    位置,或自行設定固定檢測位置。

  • 可自行定義Defect類別,Defect分類可以顏色呈
    現。

  • 可依每個Die的檢測狀況,選擇Defect進行標記,
    並以顏色於Wafer Map呈現,方便檢視與分辨,
    檢測結果可記錄於資料庫或Wafer Map。

  • 可將瑕疵狀況進行拍照存檔,存檔名稱可自行定
    義,如Die的位置加上瑕疵定義。

  • 可根據客戶需求,整合客戶端資料庫,將分析與
    檢測結果存入資料庫。


晶圓對位與瑕疵檢測系統

Measurement Function

  • 提供多組比例尺建立,使用者可根據顯微鏡物鏡
    建立對應比例尺,並可於影像上標註比例尺。

  • 提供量測直線、角度、面積等多種量測工具。

  • 提供進階量測功能,如點到線距離、點到圓距離
    、線到圓距離等。

  • 提供影像縮放功能、方便觀察檢測。

  • 即時觀測影像畫面,減少檢測者於顯微鏡上觀測的疲勞度,並可顯示十字線,方便檢測與對位。

  • 影像拍照存檔成多種格式,如Tiff、JPEG等。

  • 量測結果可匯出至文字檔或Excel報表。

  • 提供Time Lapse影像拍照功能,可設定拍照建隔時間與張數。
晶圓對位與瑕疵檢測系統

■ 硬體規格

Motorized Stage for 6” ~8” Wafer plate
* Stage Platform

1. Stage Plate fit for 8” Wafer
2. Stage movement on X-Y travel range:
X: 255 mm , Y: 215 mm (10” x 8.5”)
3. Resolution: minimum step size of the stage is 0.1 um
4. Repeatability: +/- 4um open loop
5. Accuracy: +/- 8um
6. Speed: 60 mm/sec maximum
7. Stage shuttle movement to Wafer Auto Loader(NWL860), trigger loader to load/unload 8”
wafer into microscope

*Wafer Stage Control unit
1. plus shuttle (includes vacuum switch)
2. Computer control interface port
Between computer and Stage
3. Use RS232C communication protocol

*Joy Stick : 3 Axis control joy stick
晶圓對位與瑕疵檢測系統
 
自動化清淨度分析軟體